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六氟化硫元素氟和硫直接反应法。
直接电解法 将硫、二氯化硫、一氯化硫、二硫化碳或硫化氢等加入到无水氟化氢中,以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。用硫化氢与无水氢氟酸电解时,以镍作极,铁作阴极,温度为-10~20℃,电压为7~20V。电解产物应除去杂质;催化氧化法 金属氧化物为催化剂,于300℃下,用空气氧化四氟化硫,该法缺点是收率过低。