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六氟化硫是一种无色、无臭、无毒、不燃的惰性气体,它的分子量为146.07,在20℃0.1 MPa时密度为6.1kg/m3,约为空气密度的5倍。六氟化硫在常温常压下为气态,其临界温度为45.6℃,三相点温度为-50.8℃,常压下升华点温度为-63.8℃。六氟化硫分子结构呈八面体排布,键合距离小、键合能高,因此其稳定性很高,在温度不超过180℃时,它与电气结构材料的相容性和氮气相似。

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