详细介绍
晶圆校准器 Wafer Aligner
晶圆校准器是一种应用于晶圆加工中的晶圆预对准装置，通过利用晶圆上的缺口(notch)将晶圆调整至预设位置，以确保晶圆的位置及方向，方便后续工艺的进行。产品广泛应用于半导体制造过程中的各个阶段，可集成至各类半导体设备中使用。
晶圆校准器是一种应用于晶圆加工中的晶圆预对准装置，通过利用晶圆上的缺口(notch)将晶圆调整至预设位置，以确保晶圆的位置及方向，方便后续工艺的进行。产品广泛应用于半导体制造过程中的各个阶段，可集成至各类半导体设备中使用。
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