设备特点
适用厚膜电路调阻，电子模块功能修调
高精度，高速度，高可靠性
订制的**激光器，切口质量高
直线电机XY平台分步重复
消色差成像技术，图像识别功能
矩阵测量系统，配备IEEE-488(GPIB)接口
强大软件编程功能，满足各种不同应用
主要技术参数
|
激光系统 |
型号规格 |
LT7130/G/U |
|
激光波长 |
1064nm/532nm/355nm |
|
|
激光功率 |
8W/5W/3W |
|
|
典型光斑尺寸 |
35±5µm/18µm/10µm |
|
|
对焦方式 |
自动，计算机程序控制 |
|
|
冷却方式 |
水冷 |
|
|
激光束定位系统 |
激光束运动范围 |
60mm X 60mm |
|
运动分辨率 |
0.76µm |
|
|
重复定位精度 |
±2.5µm |
|
|
分步重复运动系统 |
运动方式 |
平面电机或直线电机 |
|
运动范围 |
290mm*260mm |
|
|
重复定位精度 |
±1µm |
|
|
运动速度（空载） |
900mm/s |
|
|
测量系统 |
电阻测量方式 |
四线制测量或二线制测量 |
|
电阻测量精度 |
中阻 ± 0.02% |
|
|
电阻测量范围 |
0.1Ω-100MΩ |
|
|
测量速度 |
25µs/次 |
|
|
零点及满程误差校正 |
自动校正 |
|
|
探针定义 |
可编程任意设定 |
|
|
探针板运动 |
自动、计算机程序控制 |
|
|
探针板规格 |
标准P48 |
|
