石墨舟 就是石墨模具。石墨模具本身是一种载体,可以把我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。石墨模具是选用人造石墨经机械加工而成的。所以石墨模具有时成为石墨舟,也有称为石墨船。
PECVD石墨舟
1.采用了消除“彩片”的生产技术,长期工艺生产中不产生“彩片”;
2.采用德国西格里进口高纯石墨材料制作,杂质含量低,强度高;
3.陶瓷组装件采用99.9陶瓷,防腐蚀性能强,不易爆裂;
4.采用了精密加工设备,聘请了技术人员,了每个配件的精度;
5.能匹配CT、捷佳伟创、红太阳等设备的炉子。
石墨螺丝螺母,在工业生产中,适应高温环境,石墨材料非常耐高温,在高温行业应用非常广泛。
工艺卡点特性
1.提高产品成品率:硅片装夹牢固,减少掉片现象,减少氮化硅的色差片,提高了成品率。
2.工艺点钩点小,新的圆形工艺点在硅片上的钩点面积是1.472mm2,新的菱形工艺点钩点面积是0.619mm2。
3.使用寿命长。
4.采用SGL高纯石墨,纯度高、硬度高、耐磨、使用寿命长。