废气排放浓度达到江苏省《半导体行业污染物排放标准》DB32/3747-2020 和《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996中的要求。主要设备包含：一次侧风机、二次风机、过滤器、浓缩转轮、脱附风机、TNV、换热器、风管、控制系统、烟囱等。
废气风量和浓度数据
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序号 |
废气源 |
风量 |
温度 |
相对湿度 |
浓度 |
处理方式 |
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m3/h |
℃ |
% |
mg/m3 |
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1 |
Module A |
80000 |
~25 |
~60 |
200 |
废气浓度为企业提供参考浓度，后期可进行检测，废气经过转轮浓缩后再进入TO进行处理 |
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2 |
module B+C |
80000 |
~25 |
~60 |
200 |
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3 |
合计 |
160000 |
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1.1.1 废气成分及性质
根据企业提供的废气参数计算得出废气浓度及废气成分占比如下：
表 废气成分占比
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废气成分 |
各成分占比 |
各成分浓度（mg/m³） |
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异丙醇 |
68% |
136 |
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2-氨基乙醇 |
8% |
16 |
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乙二醇 |
7% |
14 |
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异丙醇胺 |
7% |
14 |
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羟胺 |
7% |
14 |
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芳香族溶剂 |
2% |
4 |
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乙酸乙酯 |
1% |
2 |
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合计 |
100.0% |
200 |
1.1.1 标准
1、TNV系统热回收能力≥70%；
2、转轮处理效率≥99%；
3、焚烧系统处理效率＞99%；
4、在正常生产时，**终整体系统处理效率≥98%；
5、系统处理后废气排放浓度VOC≤30mg/m3, 异丙醇≤20 mg/m3；
6.废气处理后排放浓度执行 DB32 3747-2020 江苏省《半导体行业污染物排放标准》，如下表：
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污染物名称 |
苯 |
苯系物 |
异丙醇 |
非甲烷总烃 |
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**允许排放浓度mg/m³ |
1 |
25 |
40 |
≤50 |
1.1 废气处理工艺
1.1.1 工艺流程介绍
对于企业生产车间产生的废气采用“过滤+浓缩脱附+氧化燃烧”的处理工艺。低浓度的有机废气先经过二级过滤，然后采用沸石做吸附浓缩及脱附处理，吸附后的气体可以直接排到大气，沸石在吸附大量的有机物后需经过高温气体进行脱附处理，脱附后再进入TO做氧化处理。TO净化了含有碳氢化合物的工业排气，这些污染物包含了可挥发性有机成分（VOCs）以及各种类型的有害污染物（HAPs），TO利用了热氧化以及热回收相结合的方法高效的去除了污染物，同时也**化的节省了操作成本。
本项目共有六套废气处理系统，单套风量 40000m3/h。每三套一组分别与原系统衔接。废气经过浓缩转轮处理再进入TO燃烧处理，处理达标后从 TO排出，由于废气排出温度为~300℃，因此采用余热回收系统进行热量回收利用，废气处理工艺流程图如下所示：
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