表面清洁/活化/粗化等离子表面处理设备

等离子体是区别于固体、液体和气体的另一种物质聚集态，人们称之为物质存在的第四种状态。它由电离的导电气体组成，其中包括六种典型的粒子，即电子、正离子、负离子、激发态的原子或分子、基态的原子或分子以及光子。

物质从能量较低的聚合态转为能量较高的聚集态将要从外界供给能量（如加温等），从固体转化为液体或从液体转化为气体时每个粒子需要0.01eV（1eV=1.6022×10-19焦耳）的能量，当气体进一步从外界吸收能量，分子热运动进一步加剧，分子离解为原子，原子中的电子获得足够的能量脱离电子，成为自由电子。气体被电离，被电离的气体中含有大量的电子、离子以及部分中性粒子（原子和分子），其中电子和离子的电荷数差不多相等，宏观上或平均意义上它是电中性的。

电离的气体不一定就是等离子体，电离的气体必须满足三个条件之后才能称为等离子体；另一方面等离子体不只是电离的气体，如固态金属中晶格上的正离子和运动的自由电子，半导体中的空穴和电子等都构成固态等离子体；电解溶液中的正负离子构成液体等离子体等，但是人们一般讲到的等离子体还是指气体放电等离子体。从普通气体转化为等离子体，每个粒子需要1～30 eV的能量，可见等离子体是物质中能量较高的物质聚集态，因此其中的粒子具有较高的活性。