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详细介绍

AIN UVB UVC WAFER晶圆外延片高寿高光效PW牌

外延是半导体工艺当中的一种。在bipolar工艺中,硅片底层是P型衬底硅(有的加点埋层);然后在衬底上生长一层单晶硅,这层单晶硅称为外延层;再后来在外延层上注入基区、发射区等等。然后基本形成纵向NPN管结构:外延层在其中是集电区,外延上面有基区和发射区。外延片就是在衬底上做好外延层的硅片。

型号:PET-02-VA

规格:2INCH, AVE. 3μm THK. XRD ≤ 450 arcsec (102)

产品应用范围涵盖:UV杀菌、光疗,水处理,汽车尾气处理等。

干式蚀刻技术
在半导体的制程中,蚀刻被用来将某种材质自晶圆表面上移除。干式蚀刻(又称为电浆蚀刻)是目前**常用的蚀刻方式,其以气体作为主要的蚀刻媒介,并藉由电浆能量来驱动反应。
电浆对蚀刻制程有物理性与化学性两方面的影响。**先,电浆会将蚀刻气体分子分解,产生能够快速蚀去材料的高活性分子。此外,电浆也会把这些化学成份离子化,使其带有电荷。
晶圆系置于带负电的阴极之上,因此当带正电荷的离子被阴极吸引并加速向阴极方向前进时,会以垂直角度撞击到晶圆表面。芯片制造商即是运用此特性来获得**的垂直蚀刻,而后者也是干式蚀刻的重要角色。
基本上,随着所欲去除的材质与所使用的蚀刻化学物质之不同,蚀刻由下列两种模式单独或混会进行:
1.电浆内部所产生的活性反应离子与自由基在撞击晶圆表面后,将与某特定成份之表面材质起化学反应而使之气化。如此即可将表面材质移出晶圆表面,并透过抽气动作将其排出。
2.电浆离子可因加速而具有足够的动能来扯断薄膜的化学键,进而将晶圆表面材质分子一个个的打击或溅击( sputtering)出来。
化学气相沉积技术
化学气相沉积是制造微电子组件时,被用来沉积出某种薄膜(film)的技术,所沉积出的薄膜可能是介电材料(绝缘体)(dielectrics)、导体、或半导体。在进行化学气相沉积制程时,包含有被沉积材料之原子的气体,会被导入受到严密控制的制程反应室内。当这些原子在受热的昌圆表面上起化学反应时,会在晶圆表面产生一层固态薄膜。而此一化学反应通常必须使用单一或多种能量源(例如热能或无线电频率功率)
CVD制程产生的薄膜厚度从0.5微米到数微米都有,不过**重要的是其厚度都必须足够均匀。较为常见的CVD薄膜包括有:
二气化硅(通常直接称为氧化层>
氮化硅
我公司的主力产品有紫外UVALEDUVCLED, UVCHIP,UVB芯片,韩国PW芯片,UVACHIP,wafer晶圆,外延片, AIN, TES MOCVD,AlGaN, 外延炉,第三 代半导体,LD激光二极管等
3535 265nm 275nm 295nm 310nm 365nm 385nm 395nm 405nm 灯珠 CHIP 
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