JL-FM系列PCB线路板等离子机
产品编号：JL-FM系列
产品规格： 线路板等离子清洗洁
产品用途：等离子蚀刻，去胶渣，SMT，邦定,字符喷印前处理
PCB等离子清洗机产品参数
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整机尺寸(W*D*H) |
1700×1300×1800 mm |
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腔体尺寸(W*D*H) |
1025*850*948 mm |
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腔体材料 |
进口316不锈钢 |
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等离子发生器 |
10KW 40kHZ Camdel 美国 |
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抽风系统 |
≥2立方/分钟，中央尾气处理管道即可 |
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电极板数量 |
15层水平分布 |
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处理层数 |
15层 |
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单层处理**面积 |
1030（W）*750（D）mm （可定制） |
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单次处理时间 |
3-30分钟不等（根据产品特征，时间设定不同） |
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工作真空度 |
10～60Pa （可根据要求设定，可恒定真空度） |
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泵可抽极限压力 |
≤1Pa |
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抽真空时间 |
90s以内 |
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破真空时间 |
≤15s |
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工艺气体 |
CF4 ;O2;N2;Ar;H2 |
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供气方式 |
高压瓶装气体14MPa，减压至0.1-0.3MPa |
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流量计调节范围 |
0-2000ml/min/全自动调节 |
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温度控制调节范围 |
3匹速冷，30-85℃可调 |
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真空泵系统 |
1级机械旋片真空泵+2级罗茨泵 |
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真空测定系统 |
日本爱发科皮拉尼高精密电阻式真空计 |
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真空供气系统 |
Ф6全不锈钢管+不锈钢锁套管路 |
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真空排气系统 |
全不锈钢管路+波纹管+2级过滤装置 |
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破真空系统 |
真空角阀 |
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PLC自动控制 |
三菱 |
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人机工控系统 |
MCGS |
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变频控制系统 |
台湾台达，PID闭环控制，真空度可维持 |
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机台温控系统 |
冰水模温一体机，采用内部独立中通冰水循环冷却系统 |
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输入气压监测系统 |
2路 日本SMC自动报警气压表 |
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气体计量系统 |
SevenStar MFC气体质量流量计**控制流量 |
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冰水机（标配） |
/ |
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真空机组（标配） |
300m³/H |
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系统重量 |
500KG |
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电源 |
AC380V，50/60Hz，三相五线100A 15KW |
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压缩空气要求 |
0.6～0.8MPa |
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循环冷却水用量 |
/ |
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系统环境温湿度要求 |
温度：5℃~+25℃ 相对湿度：<80%（25℃） |
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环境压力 |
1.013×10** |
设备工作原理
PCB等离子清洗机主要是在密闭的真空反应腔体里面，通入特殊的反应气体，通过等离子体发生装置和独特的工艺控制系统，使等离子体与PCB线路板材料发生蚀刻，活化和改性作用，从而达到的工艺要求。
该设备主要由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.15-0.3mbar的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），然后利用等离子体对工件进行表面处理。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。
应用领域
PCB等离子清洗机设备是专门为印刷电路板(PCB)行业研发的设备，以满足高到低的PCB制造生产需求。目前广泛应用于：
FPC/PCB 孔壁凹蚀 / 去除孔壁树脂钻污
PTFE&聚四氟乙烯材料的活化处理
碳化物去除
PCB板内层预处理
化学沉金/电镀前手指、焊盘表面清洁
SMT前焊盘表面清洁(cleaning)
PCB板BGA封装前表面清洗
去除电镀夹膜
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