技术参数
技术参数 |
Ra、Rz=Ry(JIS)、Rq、Rt=Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr 增加Rpc、Rk、 Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
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传感器 |
测量原理 |
电感式 |
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测量范围 |
Z轴(垂直)160μm / X轴(水平)17.5mm(0.71inch) |
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针尖半径 |
5μm针尖半径 |
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针尖材料 |
天然金刚石 |
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触针测力 |
4mN |
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触针角度 |
90° |
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导头纵向半径 |
45mm |
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**驱动行程 |
17.5 |
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量程和分辨力 |
±20μm |
0.01μm |
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±40μm |
0.02μm |
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±80μm |
0.04μm |
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滤波器 |
RC、PC-RC、Gauss、D-P |
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取样长度 |
0.25mm、0.8mm、2.5mm |
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评定长度 |
1L~5L(可选,L为取样长度) |
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示值误差 |
±10% |
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示值重复性 |
≤6% |
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工作环境 |
温度:-20oC~40oC
相对湿度:<90%RH
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外型尺寸及重量 |
主机:158x63.5x46mm,约300g; |
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电源 |
内置电池:锂离子充电电池;
电源适配器:用DC5V,800mA充电器充电
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