详细介绍
晶圆防爆真空固化炉
品牌：英鹏
型号：ZK-固化系列
价格：电仪/面议
产品用途：
本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺（PSPI)这一种新型工程高分子材料固化的设备，烘箱温度**可达450℃
性能特点：
1.真空度可达10 Pa
2.精体内氧含量：≤20ppm,提供氧含量检测接口
3.日本优易控触摸屏，升降温斜率控制
4.内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作
型号 ： ZK-固化系列
内箱尺寸（H*W*D) ： 20*20*40 30*30*60
控温范围：RT+20℃~450℃
温度波动：±0.5℃
真 空 度：10pa
氧 含 量：≤20ppm
内箱材质：SuS316不锈钢 Stainless Steel Plate
外箱材质： 钢板静电喷涂表面处理 Baked Painting Steel
保温材料：硅酸铝纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton
保护装置：声光报警器 超温保护器 Audible and visual alarm, Over Temp
功 率: 9.0 12.0
电 源 ： AC380V±10%3中50HZ
联系方式
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